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Novellus Concept2
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제품설명 | 200mm 반도체 제조 설비 |
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| 기능 | C2 SEQUEL, C2 ALTUS, C2 SPEED | |
| 특장점 | Novellus C2 전 설비 군에 대한 개조 개선 및 셋업, Refurbish 가능. 주요 개조 품목: C2 SEQUEL: RPC, ILDS, 4“ Conversion(LED), MC3/QNX4 Upgrade, Gas Box Overhaul, Relocation 등. C2 SPEED: RPC, FSG, Gas Ring, MC3/QNX4 Upgrade, Gas Box Overhaul, Relocation 등. C2 ALTUS: PNL, MC3/QNX4 Upgrade, Heater Interlock, Gas Box Overhaul, Relocation 등. |
Novellus Concept3
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제품설명 | 300mm 반도체 제조 설비 |
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| 기능 | VECTOR. C3 ALTUS, C3 SPEED | |
| 특장점 | Novellus C3 전 설비 군에 대한 개조 개선 및 셋업, Refurbish 가능. 주요 개조 품목: C3 SPEED: RPC, DSRC, Liquid Detector, Next, Hybrid MPP Upgrade, Gas Box Overhaul, Relocation 등. VECTOR: RPC, ILDS, L/L Trust Controller, AWC Upgrade, Gas Box Overhaul, Relocation 등. C3 ALTUS: Servo Spindle, Servo Lift Pin, WNx, ALD valve, Gas Box Overhaul, Relocation 등. |
Gas Line 제작
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제품설명 | 반도체 제조 설비에 사용하는 Gas Line 제작. |
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| 기능 | Toxic, Non-Toxic, PCW, Vacuum Line 등. | |
| 특장점 | 클린 룸 및 최신 용접/가공 설비를 보유하였으며 10년 이상의 풍부한 경험을 가진 엔지니어들로 구성. 정확한 실측 및 도면 제작, Data Base 화, 세계 최고의 용접 품질. Gas Box 내부, Gas Manifold 등 설비 측의 복작한 Gas Line 제작에 더욱 강점을 가지고 있음. |
